Муқаддимаи барнома
Нигоҳдорӣ ва идоракунии автоматии мавод дар истеҳсоли нимноқилҳо
Ба:
1.Нигоҳдории зичии баланд, истифодаи фазои баланд, истифодаи пурраи фазои баландии
2. Зарбаи зуд
3.Интегратсионӣ ба системаи идоракунии маводи ошёнаи сехи
4.Татбиқи зуд, санҷиши сатҳи автоматии таълим
5.Бо ARV/OHT/OHS/дастӣ ва дигар равандҳои автоматӣ мувофиқ аст
6. Бо стандартҳои Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard ва стандартҳои ESD мувофиқат мекунад
Муқаддима функсия
* Он барои нигоҳдории нимноқилҳои онлайн истифода мешавад, дастгирии FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray ва ғайра
*Метавонад бо ARV васл кунад, боркунӣ ва борфарориро дастӣ дастгирӣ кунад
* Ба Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard ва стандартҳои ESD мувофиқат мекунад
* Интерфейси нармафзори стандартии SEMI
* Тарҳрезии модулӣ
Блоки 4. No.358 Ҷинху Роҳ, ноҳияи Пудонг, Шанхай, Чин